Luach targaid taiseachd coimeasach ann an seòmar glan semiconductor (FAB).

Tha luach targaid taiseachd coimeasach ann an seòmar glan semiconductor (FAB) timcheall air 30 gu 50%, a’ ceadachadh iomall mearachd cumhang de ± 1%, leithid anns an raon lithography - no eadhon nas lugha anns a ’ghiollachd ultraviolet fada (DUV). sòn - agus ann an àiteachan eile faodar a shocrachadh gu ± 5%.
Leis gu bheil raon de nithean aig taiseachd coimeasach a dh’ fhaodadh coileanadh iomlan seòmraichean glan a lughdachadh, nam measg:
1. Fàs bacterial;
2. Raon comhfhurtachd teòthachd an t-seòmair airson luchd-obrach;
3. Tha cosgais electrostatach a 'nochdadh;
4. Meatailt creimeadh;
5. Co-dhlùthachadh vapor uisge;
6. Lùghdachadh lithography;
7. Gabhail uisge.

Faodaidh bacteria agus stuthan truailleadh bith-eòlasach eile (molltair, bhìorasan, fungasan, mites) soirbheachadh ann an àrainneachdan le taiseachd coimeasach nas àirde na 60%. Faodaidh cuid de choimhearsnachdan bacteriach fàs aig taiseachd coimeasach nas àirde na 30%. Tha a 'chompanaidh den bheachd gum bu chòir smachd a chumail air taiseachd anns an raon de 40% gu 60%, a dh' fhaodadh buaidh bacteria agus galaran analach a lùghdachadh.

Tha taiseachd coimeasach anns an raon de 40% gu 60% cuideachd na raon meadhanach airson comhfhurtachd daonna. Faodaidh cus taiseachd toirt air daoine a bhith a’ faireachdainn lìonta, agus faodaidh taiseachd fo 30% toirt air daoine a bhith a’ faireachdainn tioram, craiceann le sleagh, mì-chofhurtachd analach agus mì-thoileachas tòcail.

Tha an taiseachd àrd gu dearbh a’ lughdachadh cruinneachadh chosgaisean electrostatach air uachdar an t-seòmair ghlan - toradh a tha thu ag iarraidh. Tha taiseachd ìosal air leth freagarrach airson cruinneachadh chìsean agus stòr a dh’ fhaodadh a bhith millteach de sgaoileadh electrostatach. Nuair a tha an taiseachd coimeasach nas àirde na 50%, bidh na cosgaisean electrostatach a ’tòiseachadh a’ sgapadh gu sgiobalta, ach nuair a tha an taiseachd coimeasach nas lugha na 30%, faodaidh iad cumail a ’dol airson ùine mhòr air insuladair no uachdar gun làr.

Faodar taiseachd coimeasach eadar 35% agus 40% a chleachdadh mar cho-rèiteachadh iomchaidh, agus mar as trice bidh seòmraichean glan semiconductor a’ cleachdadh smachdan a bharrachd gus casg a chuir air cruinneachadh chosgaisean electrostatach.

Meudaichidh astar mòran ath-bhualaidhean ceimigeach, a’ toirt a-steach pròiseasan coirbeachd, le àrdachadh taiseachd coimeasach. Tha a h-uile uachdar a tha fosgailte don adhar timcheall an t-seòmair ghlan sgiobalta.